保持真空腔体尤其是溅射系统洁净是非常重要的。短路或靶材起弧，成膜表面粗糙及化学杂质含量超标经常是由于不洁净的溅射室、溅射枪和靶材引起的。
为保持镀膜的成分特性，溅射气体(氩气或氧气)必须清洁并干燥，溅镀腔内装入基材后便需将空气抽出，达到工艺所要求的真空度。
暗区屏蔽罩，腔体壁及邻近表面也需要保持洁净。
高纯金属生产的靶材采用真空密封塑料袋包装, 内置防潮剂。使用靶材时请不要用手直接接触靶材。注意：使用靶材时请配带干净而且不会起绒的保护手套，绝对避免用手直接接触靶材。
2.靶材清洁
靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。
金属靶材可以通过四步清洁，第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁；第二步与第一步类似用酒精清洁；第三步用去离子水清洗，在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。
氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。
3. 靶材安装
靶材安装过程中最重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。如果用冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲，背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响，导致在溅射过程中热量无法散发最终会造成靶材开裂或脱靶。
为确保足够的导热性，可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。
4.背靶重复使用
大部分背靶可以重复使用，尤其是采用金属铟进行粘合的比较容易进行清洁和重新使用。
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